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Gエネラル・イントロダクション
ヘルチオプトの光ファイバー温度センシング&モニタリングシステムは、幅広い最先端の半導体プロセスをサポートすることができます。
その蛍光ベースの光ファイバー温度センサーは、過酷な環境で高精度、精度、長期の安定性を維持するために特別に設計されています。 これらのセンサは電磁干渉に対して免疫を持つため、プラズマエッチングやプラズマによる付着プロセスにおける高精度な温度監視に最適です。
これらは、プロセスチャンバーの静電チャックやエッジリングなど、接触および非接触の両方の光学温度センシング&コントロールの多くのコンポーネントの温度を測定するために使用することができ、最先端の半導体製造に必要な温度制御と均一性を可能にします。
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